電容式傳感器的優點，因其帶電板間的靜電引力很小，所需輸入力和輸入能量小，因而可測低的壓力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏，分辨力高，能感應0.01μm甚至更小的位移。由于其空氣等介質損耗小，采用差動結構并接成電橋式時產生的零殘小，因此允許電路進行高倍率放大，使儀器具有很高的靈敏度。

1)溫度穩定性好

電容式傳感器的電容值一般與電材料無關，這有利于選擇溫度系數低的材料，又因本身發熱小，影響穩定性甚微。而電阻傳感器有銅損，易發熱產生零漂。

2)結構簡單

電容式傳感器結構簡單，易于制造和保證高的精度，可以做得非常小巧，以實現某些特殊的測量；能工作在高溫，強輻射及強磁場等惡劣的環境中，可以承受很大的溫度變化，承受高壓力，高沖擊，過載等；能測量超高溫和低壓差，也能對帶磁工作進行測量。

3)動態響應好

電容式傳感器由于帶電板間的靜電引力很小(約幾個10^(-5)N)，需要的作用能量小，又由于它的可動部分可以做得很小很薄，即質量很輕，因此其固有頻率很高，動態響應時間短，能在幾兆赫茲的頻率下工作，特別適用于動態測量。又由于其介質損耗小可以用較高頻率供電，因此系統工作頻率高。它可用于測量高速變化的參數。

4)可以非接觸測量且靈敏度高

可非接觸測量回轉軸的振動或偏心率、小型滾珠軸承的徑向間隙等。當采用非接觸測量時，電容式傳感器具有平均效應，可以減小工件表面粗糙度等對測量的影響。
 電路部分的檢查

1．接通電源，檢查 輸出端電壓信號的狀態。若無輸出電壓，應先檢查電源電壓是否正常；是否符合供電要求；電源與 及負載設備之間有無接線錯誤。如果 接線端子上無電壓或性接反均可造成 無電壓信號輸出。排除上述原因，則應進一步檢查放大器板線路中元件有無損壞問題；線路板接插件有無接觸不良現象，可采取對照正常儀表的測量電壓與故障儀表對應的測量電壓相比較的方法，確定故障點，必要的情況下可更換有故障的放大器板。在對流量型 檢查時，對J型電容式放大器板應特別要注意采取防靜電措施。

2．接通電源，在給定輸入壓力信號后，若 輸出過高（大于10VDC），或輸出過低（小于2.0VDC），且改變輸入壓力信號和調整零點、量程螺釘時輸出均無反應。對于這類故障，除檢查 測量部分敏感部件有無異常外，應檢查 放大器板上“振蕩控制電路部分”工作正常與否。高頻變壓器T1-12之間正常峰值電壓應為25~35VP-P；頻率約為32kHz。其次檢查放大器板上各運算放大器的工作狀況；各部分的元器件有無損壞問題等。此類故障需要更換放大器板。

3． 在線路設計和工藝裝配質量上要求都十分嚴格，在實際使用中對出現的線路故障，經檢查確認后好與生產廠家聯系更換其故障線路板，以確保儀表長期工作的穩定性和可靠性。 測量部分產生的故障，都會引起變送器無輸出或輸出不正常，因此應先檢查電容式液位計的測量敏感部件。

1．拆下法蘭，檢查敏感部件隔離膜片有無變形，破損和漏油現象發生。

2．拆下補償板，不取出敏感部件，檢查插針對殼體的絕緣電阻，在電壓不超過100V的情況下，絕緣電阻不應小于100MΩ。

3．接通電路和氣路，當壓力信號為量程上限值時，關閉氣源，輸出電壓和讀數值應穩定不動。如果輸出電壓下降，則說明變送器有泄漏，可用肥皂水檢查出泄漏部位。